描述:場發(fā)射掃描電鏡 SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。*的鏡筒設(shè)計,高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設(shè)計,實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動功能、精心設(shè)計的人機交互,優(yōu)化的操作和使用流程,無論經(jīng)驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務(wù)
分辨率高,低加速電壓下實現(xiàn)高分辨成像
電磁復(fù)合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品
高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應(yīng),低電壓分辨率得到保證
電子光路無交叉,有效的降低系統(tǒng)像差,提升分辨能力
水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性
磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌,自動切換光闌孔,無需機械調(diào)節(jié),實現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
關(guān)鍵參數(shù) | 分辨率 | 1.0?nm @ 15 kV,SE 0.8 nm @ 30 kV,STEM |
加速電壓 | 20 V ~ 30 kV | |
放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
電子槍類型 | 肖特基場發(fā)射電子槍 | |
樣品室 | 真空系統(tǒng) | 全自動控制 |
攝像頭 | 雙攝像頭 (光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控) | |
樣品臺行程 | X: 120 mm,Y: 115 mm,Z: 50 mm (* 可選配超大倉體版本) | |
探測器和擴展 | 標(biāo)配 | 鏡筒內(nèi)高角度電子探測器 側(cè)向低角度電子探測器 |
選配 | 插入式背散射電子探測器 軌跡球 & 旋鈕控制板 | |
軟件 | 語言 | 中文 |
操作系統(tǒng) | Windows | |
導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航 | |
自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |